1.清洗石英管的整個過程應嚴格按照擴散工序相關工藝安全標準進行。

　　2.清洗槽內如果存有以前用過的氫氟酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由生產人員調配）；如果原有的氫氟酸溶液很臟，則應全部排空并洗凈槽體，然后通知生產人員配液；如果槽內無以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請生產人員配液。

　　3.清洗人員必須佩戴好防護眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機靠近里面的槽內，管口朝向制絨間，管尾指向擴散爐所在方向。拉下防護門，將酸槽清洗時間設定為30min，按下控制面板中"酸槽啟動"按鈕。

　　4.酸槽清洗時間的設定：

　　新的石英管只需清洗30min左右。如果是用過的石英管，應以將管內壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時間為準。清洗用過的管子，有的要1到2天時間。在酸槽未啟動的情況下，應每隔2個小時將石英管旋轉180°。

　　5.清洗人員戴好防護眼鏡和手套，將石英管從酸槽取出，輕放入水槽。將水槽內的水排空后用水槍沖洗石英管內外壁約5分鐘。沖洗石英管內壁時不要按下"水槽啟動"按鈕，如果已經按下了應再按下"水槽結束"按鈕。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖洗管內壁。沖洗時應仔細認真，不要有殘留未沖到的區域。2分鐘后，將石英管旋轉180°，再用同樣方式沖洗2分鐘。

　　6.將純水注入水槽，水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為準。拉下防護門，然后將水槽清洗時間設定為30min，按下"水槽啟動"按鈕。

　　7.重復第6步，再清洗一遍。

　　8.水槽結束后，將水槽內的水排空。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖洗石英管內/外壁。主要沖洗內壁。約5min后用水槍沖洗管尾的四個小通氣管，同樣是管內壁。沖洗2分鐘后再繼續從管口方向沖洗。此步清洗時間應不少于15min，以管內外壁無顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標志。

　　9.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專用的泡沫。

　　10.將管口和尾管用專用鋁箔密封。